Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)

Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)

Die Energie von Auger-Elektronen hängt nur von der Differenz der beteiligten atomaren Energieniveaus ab. Somit ist sie eine element-spezifische Größe und wird bei der Auger-Elektronen-Spektrokopie (AES) genutzt zur

  • chemischen Analyse der Oberfläche 

Gefördert durch die Europäischen Union im Rahmen des Programms zur Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation (InfraFEI) des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE). Mehr Details zur Förderung auf der Projektseite InfraMOCha.

MethodeBereich öffnenBereich schließen

Bei der Auger-Elektronen-Spektroskopie treffen Elektronen mit Energien im Bereich einiger weniger keV auf das zu untersuchende Material. Diese Energie ist ausreichend, um Atome zu ionisieren, indem Rumpfelektronen herausgeschlagen werden. Das entstandene Rumpfloch wird durch ein Elektron aus einem höheren atomaren Energiezustand aufgefüllt. Beim Auger-Meitner-Effekt wird die Energiedifferenz auf ein weiteres Elektron übertragen, das das Material verlässt und detektiert werden kann - das sog. Auger-Elektron.

Die Energie, die das Auger-Elektron trägt, hängt somit nur von den beteiligten atomaren Energieniveaus ab und nicht von der Energie des anregenden Elektrons. Diese sind element-spezifisch, sodass eine Analyse der Energien der Auger-Elektronen Rückschlüsse auf die chemische Zusammensetzung des Materials ermöglicht. Aufgrund der geringen Austrittstiefe der Auger-Elektronen in der Größenordnung von 10 atomaren Lagen ist die Auger-Elektronen-Spektroskopie eine oberflächenempfindliche Methode.

SpezifikationenBereich öffnenBereich schließen

Für die AES wird eine LEED-Optik verwendet, bei der durch Anlegen elektrischer Spannungen in einer Anordnung von vier Gittern vor dem Leuchtschirm nur Elektronen bestimmter Energie passieren können.

  • 4-Gitter-LEED-Optik im Reverse View Design mit µ-Metall Abschirmung
  • Elektronenquelle: lichtgeschirmte Miniatur-Elektronenquelle mit Thoria beschichtetem Ir-Haarnadel-Filament
  • Primärenergie: 0 - 3 keV
  • Detektorenergie: 0 - 2 keV
  • Vorverstärker, Filter und Anpassungseinheit
  • Integrierter Lock-in-Verstärker