Vorlesungen
Physikalische Technologien/Energiesysteme (B.Eng.)
- Struktur der Materie
- Oberflächen- und Vakuumtechnik
- Mikro-/Nanotechnik
- Halbleitertechnik/Oberflächenanalytik (WPM)
- Elektronenstrahlmikroanalyse (WPM)
Photonik (M.Eng.)
- Mikrotechnologien
- Optik und Photonik an Großgeräten (WPM)
Praktika
Vakuumtechnik:
- Effektives Saugvermögen
- Auftrieb in Luft
- Dampfdruck von Wasser
- Lecksuche
Oberflächentechnik:
- Schichtdickenbestimmung und Rauheitsanalyse
- Lichtmikroskopie an Grenz- und Oberflächen
Elektronenstrahlmikroanalyse
- Analyse von Topografie und chemischer Zusammensetzung am Rasterelektronenmikroskop
Mikrotechnologien
- Bau einer optischen Maus
- Analyse von Chipstrukturen
Weitere Praktika
- Im Rahmen der Vorlesungen Mikro-/Nanotechnik und Halbleitertechnik/Oberflächenanalytik gibt es die Möglichkeit, am Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (IHP) praktische Arbeiten durchzuführen - auch als 2-wöchiges Blockpraktikum in der vorlesungsfreien Zeit.
