Labordetails
Fachbereich: Ingenieur- und Naturwissenschaften
Standort: Halle 14, Raum 14-B008
Telefon: +49 (0) 3375 / 508 -
Laborausstattung
Arbeitsplätze: 2
Geräte:
-
Rasterelektronenmikroskop Jeol JSM-6400
- Energiedispersives Röntgenspektroskop Oxford Instruments
Das Rasterelektronenmikroskop mit energiedispersivem Röntgenspektrometer ermöglicht
- Abbildungen der Probenoberfläche (Topografie und Ordnungszahlkontrast) mit sehr hoher Ortsauflösung und Schärfentiefe
- chemische Analyse
MethodenBereich öffnenBereich schließen
Im Rasterelektronenmikroskop entsteht die Abbildung der Probenoberfläche durch Abrastern mit einem gebündelten hochenergetischen (keV) Primärelektronenstrahl und Detektion von Sekundärelektronen oder rückgestreuten Elektronen. Durch Abrastern verschieden großer Bereiche auf der Oberfläche, die auf dieselbe Bildschirmgröße abgebildet werden, ändert sich die Vergrößerung.
Während die Detektion der Sekundärelektronen (E < 50 eV) bestmögliche Ortsauflösung liefert, werden Segmentdetektoren für rückgestreute Elektronen genutzt, um Topografie von chemischem (Ordnungszahl-)Kontrast zu separieren.
Die Energie der Primärelektronen ist auch ausreichend, um Atome zu ionisieren, indem Rumpfelektronen herausgeschlagen werden. Das entstandene Rumpfloch wird durch ein Elektron aus einem höheren atomaren Energiezustand aufgefüllt. Die Energiedifferenz kann auf ein weiteres Elektron übertragen werden, das das Material verlässt (Auger-Meitner-Effekt) oder in Form eines Photons. Letzteres wird bei der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (en: energy-dispersive x-ray spectroscopy, EDS oder EDX) genutzt, um Rückschlüsse auf die enthaltenen chemischen Elemente zu ziehen.
Spezifikationen REMBereich öffnenBereich schließen
- Vergrößerung bis 300000x, Ortsauflösung bis 3.5 nm
- Everhart-Thornley-Detektor für Sekundärelektronen
- Halbleiter-Segment-Detektor für rückgestreute Elektronen
- Probenschleuse
- Veschiebung X, Y, Z, Rotation (0 - 360°) und Tilt (-5 - 90°)
