Forschung
Bearbeitung fluoridischer Optiken
DEFOE Entwicklung eines skalierbaren Lasertrennprozesses zum Konturschneiden von fluoridischen IR/UV Optikkomponenten
Gesamtthema:
Entwicklung eines neuartigen Herstellungsverfahrens für hochwertige kristalline, fluoridische IR/UV Optiken mit kleinsten Abmessungen (Fluoridische Optiken)
Teilthema der TH Wildau:
Entwicklung eines skalierbaren Lasertrennprozesses zum Konturschneiden von fluoridischen IR/UV Optikkomponenten
Kurzform:
DEFOE
Schlagworte:
kristalline, fluoridische IR/UV Optiken, Lasertrennprozess, Polierverfahren, Lasermaterialbearbeitung, Konturschneiden
Kurzbeschreibung:
Der Trend zur Miniaturisierung auf dem Gebiet der hochwertigen, kristallinen, fluoridischen IR/UV-Optiken erfordert die Entwicklung einer neuartigen Prozesskette (Rohstäbe vereinzeln mit geringer Dicke, Scheiben polieren, Scheiben reinigen, laserassistierte Separierung mit kleinem Durchmesser, Kantenbearbeitung, Messen und Prüfen), um den Marktbedarf an Optiken mit kleinsten Abmessungen bei kurzen Lieferzeiten und sinkenden Marktpreisen zu decken. Ziel des Projektes ist auf der einen Seite die Entwicklung eines Polierschrittes für sehr dünne CaF2/BaF2-Wafer und auf der anderen Seite die Entwicklung einer Laserbearbeitungstechnologie zur hochpräzisen Separierung komplett prozessierter Wafer mit kleinsten Durchmessern ohne aufwendige Nachbearbeitung. Aufgrund der geringen Dimensionen spielt auch das spätere Handling eine entscheidende Rolle. In den beiden Teilbereichen, dem komplett zu prozessierenden, großen, dünnen Rohling einerseits und die laserunterstützte Separierung andererseits, (sowie die damit jeweils verbundene Reinigungs- und Prüftechnik) sind die zugehörigen Prozessschritte im Zuge des Projektes zu evaluieren und zu optimieren. Bisher fehlende Prozessschritte zum Erreichen der angestrebten Miniaturisierung, wie das laserbasierte Schneiden und die Polierung sehr dünner Platten, sind dabei neu zu entwickeln.
Mitarbeiter:
M. Schiersch M.Sc., N. Ockert B.Sc., F. Salzberg B.Sc., Dr. M. Hofmann
Laufzeit:
01.03.2020 - 28.02.2022
Projektvolumen:
173.556 €
Förderkennzeichen:
ZF4012241AB9
Mittelgeber/Förderprogramm:
BMWi, AiF Projekt GmbH, ZIM-KF
Projektträger:
AIF Projekt GmbH
Ansprechpartner: