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Ätzanlage zur Strukturierung von Si-Wafern

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Erweiterung eines Plasmabeschichtungssystems zur Herstellung diamantartiger Schichten

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Titel:
Erweiterung eines Plasmabeschichtungssystems zur Herstellung diamantartiger Schichten

 

Kurzform:
DiaS
 

Kurzbeschreibung:
Im vorliegenden Vorhaben soll ein vorhandenes Plasmabeschichtungssystem technisch erweitert werden. Die Erweiterung dient der Herstellung diamantähnlicher Kohlenstoffschichten für den Schutz und zur gezielten Funktionalisierung von Oberflächen hauptsächlich im Bereich der Sensorik. Damit sollen Oberflächen einerseits gegenüber äußeren Umwelteinflüssen wie zum Beispiel Feuchtigkeit und chemischen Angriffen unempfindlich werden. Zum anderen sollen neuartige siliziumbasierte photonische Sensoren für die Bio- und Umweltanalytik entstehen. Neben dem Schutz der Siliziumoberflächen können durch die gezielte Beeinflussung der Stöchiometrie (Zusammensetzung) dieser Schichten die optischen und chemischen Eigenschaften der Sensoren verändert und an die jeweilige Messaufgabe angepasst werden.  Die hier beantragte Investition ist für den Erhalt und Ausbau der Laborinfrastruktur des Antragstellers notwendig, besonders um auf dem internationalen Markt industrienaher Forschung und Entwicklung in der Dünnschichttechnik wettbewerbsfähig zu bleiben und zukünftig vermehrt Projekte in nationalem und europaweitem Rahmen einwerben zu können.  Das Vorhaben berührt verschiedene Handlungsfelder des Masterplans Optik und besitzt starke „Cross-Innovationspotentiale“ zum Cluster Gesundheitswirtschaft.  Der Forschungsschwerpunkte Optische Technologien/Photonik der TH Wildau wird durch die Investition erheblich gestärkt. Die Investition trägt somit zur Profilschärfung der Hochschule bei. Die Abteilung Photonics, Laser & Plasma Technologies  ist durch gemeinsame Projekte und die aktive Beteiligung in einer Vielzahl von Netzwerken stark mit regionalen Unternehmen vernetzt. Dadurch werden viele Unternehmen aus der Region Berlin-Brandenburg von der Investition profitieren.

Mitarbeiter:
Francesco Villasmunta
 

Laufzeit:
01.06.2016 - 31.03.2018

Projektvolumen für die TH Wildau:
93.195,00 €
 

Fördermittelgeber:
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur (MWFK) zur Förderung der Infrastruktur für Foschung, Entwicklung und Innovation aus dem EFRE (InfraFEI).

 

Projektträger:
Investitionsbank des Landes Brandenburg (ILB)
 

 

Ansprechpartner:

Dr. Ing. Friedhelm Heinrich

Kontakt Dr.-Ing. Friedhelm Heinrich Dr.-Ing. Friedhelm Heinrich

Tel.: +49 3375 508 429
Mail: friedhelm.heinrich@th-wildau.de

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