Epsilon
Breitband-Impedanz-Messtechnik zur Materialcharakterisierung
Epsilon
Titel: Breitband-Impedanz-Messtechnik zur Materialcharakterisierung – (Epsilon)
Projektbeschreibung:
Im Vorhaben wurde ein Messplatz zur Erfassung elektrischer und dielektrischer Materialeigenschaften von Funktionsmaterialien für die Optik, Mikro- und Nanoelektronik, die Optoelektronik, Photonik und Sensorik in einem weiten Temperatur- und Frequenzbereich geschaffen. Er erlaubt die Erfassung der komplexen Dielektrizitätskonstante EPSILON in einem ausgedehnten Parameterraum.
Die zu vermessenden festen Materialproben liegen meist als dünne Schichten (meist wenige µm) auf geeigneten Substraten vor (z.B. Siliziumwafer, Quarzglas-Objektträger). Für elektrische Messungen werden die Proben mittels geeigneter Elektroden kontaktiert. In einem Hochvakuum-Rezipienten erfolgt die Temperierung der Proben im Bereich von ca. 77 K bis ca. 670 K, über einen selbst entwickelten Probenhalter. Das Temperier-System erlaubt Messungen bei konstanter Temperatur oder sich stetig ändernder Temperatur mit einer Genauigkeit von 0,01 K. Heiz- und Kühlraten sind im Bereich von etwa 0,1 bis ca. 20 K/min einstellbar.
Das Impedanzmessgerät ermöglicht die Erfassung von Induktivität, Kapazität und Widerständen sowie die Messung der Dielektrizitätskonstante und von Tangens Delta (ca. 10-4 bis ca. 1) bzw. von Real- und Imaginärteil der Dielektrizitätskonstante im Frequenzbereich von einigen Hz bis ca. 1 MHz.
Der Messplatz zur Erfassung von Gleichstromeigenschaften umfasst ein elektrometrisches System zur Messung kleinster Ströme bis in den Bereich von pA bis fA hinab und sehr hoher Widerstände von GΩ bis TΩ. Außerdem umfasst der Messplatz ein Source-Meter-System zur Erfassung von Strom-Spannungskennlinien, Multimeter zur Erfassung von Photoströmen (>pA) und Thermospannungen (>nV) sowie ein optisches Messsystem zur Beleuchtung der Messproben und zur Erfassung emittierter oder reflektierter Strahlung.
Antragsnummer: 85053672
Projektsumme: 99.717,32 €
Fördersummes EU: 79.773,86 €
Eigenmittel: 19.943,46 €
Bewilligungszeitraum: 11.10.2021-31.03.2023
Durchführungszeitraum: 11.10.2021-30.09.2022
Fördermittelgeber:
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur des Landes Brandenburg
aus Mitteln zur Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation aus dem EFRE (InfraFEI)
Infrafei-Richtlinie Forschungsinfrastruktur
Ansprechpartner:
