Forschung
Forschungsprojekt MAMBA
MAMBA
Titel:
Ellipsometererweiterung zur Materialcharakterisierung und Lasermesstechnik zur Bauelementvermessung im nahinfraroten Spektralbereich
Projektbeschreibung:
Im Investitionsvorhaben MamBa wurde der Spektralbereich eines in der Arbeitsgruppe des Projektleiters vorhandenen spektroskopischen Ellipsometers um den nahinfraroten (NIR) Spektralbereich erweitert und ein im NIR Bereich in der Wellenlänge durchstimmbarer Laser angeschafft werden. Die Spektralbereichserweiterung war notwendig, da ein Großteil der auf Mikrochips integrierten photonischen Bauelemente der Kommunikations- und Sensorbranche im NIR Bereich arbeitet. Das Ellipsometer wird hierbei für die Materialcharakterisierung und der durchstimmbare Laser für die hochgenaue Vermessung der Funktionseigenschaften der integrierten Bauelemente genutzt.
Antragsnummer: 85000806
Gesamtausgaben: 98.710,50 €
Zuschuss EU: 78.968,40 €
Bewilligungszeitraum: 04.02.2016 – 31.10.2017
Fördermittelgeber:
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur des Landes Brandenburg
aus Mitteln zur Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation aus dem EFRE (InfraFEI)
Ansprechperson: