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Spin Coating Arbeitsplatz der Reinraumklasse ISO 5 (Spin)
Spin
Titel: Spin Coating Arbeitsplatz der Reinraumklasse ISO 5 (Spin)
Projektbeschreibung:
Im Vorhaben wurde ein Spin Coating Arbeitsplatz der Reinraumklasse ISO 5 angeschafft. Der eigentliche Spin Coater mit automatisiertem Dispensersystem ist hierbei in einer Nassbank integriert. Eine Flowbox saugt Luft aus der Umgebung an, filtert diese und sorgt für einen laminaren Luftfluss im Arbeitsbereich. Hiermit kann mit geringem Aufwand ein relativ partikelfreier Arbeitsbereich der Reinraumklasse ISO 5 realisiert werden. Da die gesamte Probenpräparation im sauberen Arbeitsbereich erfolgen muss, enthält die Nassbank zudem eine N2-Pistole zur Entfernung von losen Partikeln auf den Substratmaterialien sowie zwei Heizplatten für eine Temperaturnachbehandlung, um das Lösungsmittel aus den abgeschiedenen Schichten zu entfernen.
Antragsnummer: 85045430
Projektsumme: 97.270,60 €
Fördersummes EU: 77.816,48 €
Eigenmittel: 19.454,12 €
Bewilligungszeitraum: 17.09.2020-30.06.2022
Durchführungszeitraum: 17.09.2020-31.10.2022
Fördermittelgeber:
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur des Landes Brandenburg
aus Mitteln zur Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation aus dem EFRE (InfraFEI)
Infrafei-Richtlinie Forschungsinfrastruktur
Ansprechpartner: