Labore und instrumentelle Ausstattung
Ätzanlage zum Strukturieren von Si-Wafern

Labore und instrumentelle Ausstattung

Übersicht über die vorhandene Messtechnik

Der Arbeitsgruppe stehen vier Labore zur Verfügung.

  • Das Plasmalabor mit verschiedenen Beschichtungsanlagen,
  • das Photoniklabor mit optischen Messinstrumenten, vor allem zur Schichtdiagnostik,
  • das Laserlabor mit verschiedenen Lasern- und Laseranlagen zur Lasermaterialbearbeitung und als Diagnosewerkzeug sowie ein
  • Materialographielabor

Allgemeine Ansprechpartner:

  • Gruppenleiter: Prof. Dr. Sigurd Schrader
  • Materialographie: Dr. Martin Burger
  • Chemie und Materialsynthese: Dipl.-Chem. Birgit Dietzel
  • Laserlabor und integrierte Photonik: Dr. Patrick Steglich
  • Dünnschichttechnologien und Diagnostik: Dr. Friedhelm Heinrich, Dr. M. Hofmann, Dr. Helge Lux, Claus Villringer M.Eng.

Die Ansprechpartner werden bei den jeweiligen Geräten aufgeführt.


	Prof. Dr.rer.nat.habil. Sigurd Schrader

Leiter der Arbeitsgruppe Prof. Dr.rer.nat.habil. Sigurd Schrader Prof. Dr.rer.nat.habil. Sigurd Schrader

Tel.: +49 3375 508 293
Mail: sigurd.schrader@th-wildau.de
Web: http://www.th-wildau.de/?id=3017
Haus 14, Raum A220

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