Labore und instrumentelle Ausstattung
Ätzanlage zum Strukturieren von Si-Wafern

Labore und instrumentelle Ausstattung

Übersicht über die vorhandene Messtechnik

Der Arbeitsgruppe stehen vier Labore zur Verfügung.

  • Das Plasmalabor mit verschiedenen Beschichtungsanlagen,
  • das Photoniklabor mit optischen Messinstrumenten, vor allem zur Schichtdiagnostik,
  • das Laserlabor mit verschiedenen Lasern- und Laseranlagen zur Lasermaterialbearbeitung und als Diagnosewerkzeug sowie ein
  • Materialographielabor

Allgemeine Ansprechpartner:

  • Gruppenleiter: Prof. Dr. rer. nat. habil.  Sigurd Schrader
  • Materialographie: Dr. rer. nat. Martin Burger
  • Chemie und Materialsynthese: Dipl.-Chem. Birgit Dietzel
  • Laserlabor und integrierte Photonik: Dr. rer. nat. Mandy Hofmann
  • Dünnschichttechnologien und Diagnostik: Dr. Ing.  Friedhelm Heinrich, Dr. rer. nat.  Mandy Hofmann, Claus Villringer M.Eng.

Die Ansprechpartner werden bei den jeweiligen Geräten aufgeführt.


	Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Leiter der Arbeitsgruppe Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Tel.: +49 3375 508 126
Mail: martin.regehly@th-wildau.de
Haus 14, Raum A219

Zum Profil