TH-Wildau
Ellipsometer Sentech SE-400
Ellipsometer

Ellipsometer Sentech SE-400

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Ellipsometer Sentech SE-400

Bei einem Ellipsometer wird linear polarisiertes Licht unter verschiedenen Winkeln auf eine Probe eingestrahlt und anschließend der Polarisationszustand des reflektierten Lichts bestimmt. Durch Vergleich aller Messergebnisse mit einem zuvor aufgestellten Modell kann auf die optischen Eigenschaften (Brechzahl und Extrinktionskoeffizient) und die Dicke des Schichtsystems geschlossen werden.

  • manuelles Goniometer von 40° bis 70° in 5°-Schritten
  • Laserwellenlänge 632,8 nm
  • Genauigkeit der Schichtdicke: 0,1 nm bei 100 nm SiO2
  • Genauigkeit des Brechungsindexes: 5·10-4 bei 100 nm SiO2
  • PCSA-Aufbau (Polarizer/Compensator/Sample/Analyzer)
  • Foto (c) Sentech
Ellipsometer zur Bestimmung optischer Konstanten oder Schichtdicken
© Firma Sentsch, Berlin Adlershof

Kontakt Dr. rer. nat. Mandy Hofmann Dr. rer. nat. Mandy Hofmann

Tel.: +49 3375 508 346
Mail: mandy.hofmann@th-wildau.de

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Kontakt B.Eng. Claus Villringer B.Eng. Claus Villringer

Tel.: +49 3375 508 770
Mail: claus.villringer@th-wildau.de

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