Labor für Plasmatechnik
Ätzanlage zur Strukturierung von Si-Wafern

Labor für Plasmatechnik

Ansprechpartner

Die Ansprechpartner werden bei den jeweiligen Geräten aufgeführt.


	Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Arbeitsgruppenleiter Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Tel.: +49 3375 508 126
Mail: martin.regehly@th-wildau.de
Haus 14, Raum A219

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