Plasmalabor
Ätzanlage zur Strukturierung von Si-Wafern

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Ansprechpartner

Die Ansprechpartner werden bei den jeweiligen Geräten aufgeführt.


	Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Arbeitsgruppenleiter Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Tel.: +49 3375 508 126
Mail: martin.regehly@th-wildau.de
Haus 14, Raum A219

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