Plasmalabor
Ätzanlage zur Strukturierung von Si-Wafern

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Ansprechpartner

Die Ansprechpartner werden bei den jeweiligen Geräten aufgeführt.


	Prof. Dr.rer.nat.habil. Sigurd Schrader

Arbeitsgruppenleiter Prof. Dr.rer.nat.habil. Sigurd Schrader Prof. Dr.rer.nat.habil. Sigurd Schrader

Tel.: +49 3375 508 293
Mail: sigurd.schrader@th-wildau.de
Web: http://www.th-wildau.de/?id=3017
Haus 14, Raum A220

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