HCA Verdampfungsanlage Gefilterter Hochstrombogen

Verdampfungsanlage „Gefilterte Hochstrombogenverdampfung – HCA“

•  Verdampfung durch gepulsten Hochstrombogen
• Stromstärken des Bogens bis 3 kA
• Möglichkeit zur direkten Beschichtung und zur gefilterten Beschichtung vorhanden
• Filtermodul mit bis zu 700 A für Schichtabscheidung mit Ra < 1 nm
• Wechsel des Verdampfungsmaterials ohne Bruch des Vakuums möglich
• Geeignete Abscheidematerialen z.B. C, Al, Ti, Cr, Cu, TiCr
• Reaktive Abscheidung mit Stickstoff möglich für z.B. AlN oder CrN
• Abscheidung von wasserstofffreien DLC-Schichten mit hoher Härte bis 38 GPa
• Möglichkeit zur Abscheidung auf geheizten Substraten vorhanden
• Vakuum bis 1 * 10-6 mbar
• Konfiguration für die Synthese von Graphen vorhanden