Wachstumskern Potenzial – Verbundprojekt „Elektronenaktivierte Vakuum-Deposition“ (EVD)
Titel:
Elektronenaktivierte Vakuum-Deposition
Kurzbezeichnung:
EVD
Kurzbeschreibung:
Gesamtziel des Vorhabens ist die Validierung und Weiterentwicklung eines neuartigen Beschichtungsverfahrens auf Basis der Elektronen-aktivierten Vakuum Deposition (EVD), welches ermöglicht, auf festen Substraten dünne, defektfreie Polymer- oder Polymer-Komposit-Schichten mit besonderen Eigenschaftskombinationen abzuscheiden.
Parallel zu diesen Arbeiten werden mit unseren Projektpartnern unter Nutzung dieser Technologie neue Sensoren entwickelt.
Teilprojekte:
- Weiterentwicklung der EVD-Technologie (EVD-T)
Weiterentwicklung des EVD-Beschichtungsverfahrens für eine industrielle Nutzung - EVD-Versuchsreaktor (EVD-VR)
Entwicklung und Bau eines EVD-Versuchsreaktors und die Implementierung der EVD-Technologie - Korrosionsbeständige Druck- und Multisensoren (EVD-KDM)
Entwicklung neuer, korrosionsbeständiger Druck- und Multi-Sensoren - Funktionsbeschichtung integrierter Photo-Detektoren (EVD-FIP)
Entwicklung von Absorber- und Entspiegelungsschichten
Kooperationspartner:
- SENTECH Instruments GmbH
Schwarzschildstraße 2
12489 Berlin
http://www.sentech.com - Prignitz Mikrosystemtechnik GmbH
Margarethenstraße 61
19322 Wittenberge
http://www.prignitz-mst.de - First Sensor AG
Peter-Behrens-Straße 15
12459 Berlin
http://www.first-sensor.com/de
Projektvolumen in Euro:
703.000,00
Projektkoordinator:
Prof. Dr. Sigurd Schrader
Laufzeit:
01.04.2016 -31.03.2018
Fördermittelgeber:
Siehe auch: http://www.unternehmen-region.de/de/9590.php