PlasmOS
Durchstimmbarer Laser mit momentan blauer Lichtemission

PlasmOS

Forschungsprojekt PlasmOS

PlasmOS

 

Titel:

Plasmaquelle zur Optimierung der Schichtabscheidung im Hochvakuum

 

Projektbeschreibung:

Im Vorhaben soll eine Plasmaquelle beschafft werden, welche bei Hochvakuumbeschichtungen mit Hilfe thermischer Verdampfer eingesetzt werden kann, um Haft und Schichteigenschaften gezielt beeinflussen zu können. Dabei geht es zum einen um eine Aktivierung der zu beschichtenden Substratoberflächen, um die Haftfestigkeit der Schichten zu erhöhen. Zum anderen soll durch die zusätzliche Plasmabehandlung während des thermisch induzierten Beschichtungsvorgangs die Morphologie und chemische Struktur der Schichten und damit die Schichteigenschaften in definierter Weise beeinflusst werden.


Projektnummer: 85017156


Projektsumme: 95.920 €


Fördersummes EU: 76.736 €


Bewilligungszeitraum: 06.03.2018 - 31.05.2019

 

Fördermittelgeber:

Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur des Landes Brandenburg
aus Mitteln zur Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation aus dem EFRE (InfraFEI)

 

Ansprechpartner:

Dr. Friedhelm Heinrich

Ansprechpartner Dr.-Ing. Friedhelm Heinrich Dr.-Ing. Friedhelm Heinrich

Tel.: +49 3375 508 429
Mail: friedhelm.heinrich@th-wildau.de

Zum Profil